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内容摘要：
净化工程解决方案：对于以微生物为控制对象的生物洁净室(例如：生物制药、洁净手术室、无菌室、生物安全实验室、实验无菌动物饲养室等)其重点要控制微生物的产生和传播，因为潮湿和水分是微生物滋生和繁殖的条件，因此水加湿的淋水、湿膜、高压喷雾等方法不能用在生物洁净室中，只能采用干蒸汽加湿和电极(电热)式加湿。 净化工程复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。 洁净隧道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域百1分百覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及。ULSI制程大都采用此种型式。 洁净隧道另有二项优点： A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。 净化工程解决方案：还有一个值得注意的问题是，洁净室工程公司，近些年来我......
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