内容摘要:
目前已推出的化学过滤器主要是:a.活性炭过滤器,大多数是晶粒状的,有盘片式、蜂窝式等;亦已有活性炭纤维过滤器,具有吸附速度快的特点,洁净室,价格尚较高;还已有晶粒与纤维粘合的过滤器。b无纺合成织物上浸渍各种功能晶粒(如活性炭、活性铝,但主要是活性炭)以吸附AMC物质。至今,据报道,φ300mm园片加工除二条试验生产线外,已有四条生产线(德国一条、美国一条、我国台湾二条)开始运转,对AMC的控制情况,当然不详,但洁净室环境为ISO5~6级,万级洁净室,对洁净室设计较简单些。可以看到,今后IC生产,其生产环境的污染控制重点必然转到工艺设备及园片传、存放系统的研发及制造上. 洁净室的气流速度/换气次数,一直是洁净室设计中受到关注的问题,随着洁净室污染源的控制效果增加及末级过滤器效率的提高等,对有关规范、导则等提出的推荐或参考值是否偏于保守,洁净室工程,已有不少讨论;FFU在应用中人们担心的噪音、......
如想进一步了解更多产品内容,可以直接给厂家发送询价表单咨询:
|
|
联系方式
电话: 0512-57991272 手机:13962446535
传真: 0512-57500906
地址: 江苏昆山张浦花苑路158号
发布IP: (IP所在地:)
|