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内容摘要：
净化技术的设备发展 对于半导体设备来讲，净化，净化工程技术在微电子技术中起着十分重要的作用。微电子技术的是集成电路，而集成电路的生产对其工艺环境和工艺流程中的净化技术和设备提出了严格的要求。我国“九五”期间大力发展以微电子为重点的信息产业。净化工程技术水平在某种意义上已成为衡量一个和地区科学技术水平和工业水平的一个重要标志。 光学微电子净化工程解决方案: 4、光学微电子行业净化工程设计方案分析之无尘车间的特点 B、室内空气参数要求 ： (1)温湿度要求：温度一般为24+2℃，相对湿度为55+5%。 (2)新风量大。由于这类车间内，人员比较多，可以根据以下数值应取下列的大值：非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;保证室内每人每小时的新鲜空气量≥40m3/h。 (3)送风量大。为了满足洁净室内的洁净度及热湿平衡，需要较大的送风量，就30......
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