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干净空间的温湿度首先是根据工艺要求来确定,但正在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的温馨度感。跟着空气干净度要求的进步,呈现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。无尘车间中排风管道的制作,应符合下列规定可燃有毒的排风风管的密封垫料固定材料应采用不燃材料。详细工艺对温度的要求以后还要列举,但做为总的本则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度颠簸范畴的要求越来越小。技术要求:净化车间技术对我国电子信息产业发展意义重大,因为它与产品的成品率有着直接关系。例如正在大规模集成电路消费的光刻曝光工艺中,做为掩膜板质料的玻璃取硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。曲径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了线性膨胀,所以必需有±度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,冷链食品净化车间装修,对卖得货将有污染,......
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