5送风系统
5.1 风管应为金属材料制作，咬口缝均应胶封。 【检查方法】外观检查。
【结果处理】不符合要求但尚未影响到某些参数，可先不更换。 5.2风管应有足够内径，控制风速在以下范围：
总管 7～9m/s
无风口支管或干管 5～7m/s 有风口支管或干管 3～5m/s 【检查方法】根据风量估算。
【结果处理】未影响到噪声，可不改动，否则应适当减小风速，但又要不影响换气次数。
5.3风管法兰之间均应有密封垫，密封垫材料宜为闭孔海绵橡胶，严禁采用橡胶、乳胶海绵、聚乙烯、厚纸板等含开孔孔隙和易产尘、易老化的材料。厚度不应小于5mm。密封垫上不得有涂料。
【检查方法】检查检漏报告和日常维护记录。
【结果处理】当无特殊要求时，未作现场扫描检漏的应补做，如无特殊要求，宜采用将纳入《洁净室施工及验收规范》的粒子计数器大气尘检漏法。 【参考】 大气尘检漏法可用2.83L/min粒子计数器，对5级及其以下洁净室所用普通高1效过滤器，需要高1效过滤器上游浓度≥5000粒/L，采样口宜为15mm×20mm，20mm为平行于扫描方向的长边，采样口离检漏表面25mm，扫描速度≤2cm/s。
【参考】 扫描过程中当出现≥1粒计数时，百级洁净室厂商，即出现漏泄特征，应在该处停留1min，若再出现≥3粒的计数，即判断为漏，百级洁净室哪里有，否则为不漏。
【参考】 ISO14644指出粒子计数器法比DOP光度计法检漏更灵敏。沉积在过滤器和管道上的DOP的挥发对产品可能造成无法接受的污染或分子污染；长时间测试会造成过滤器污染堵塞；对人也有危害。
【检查方法】洁净室工程外观检查。
【结果处理】密封垫如涂涂料一定要换掉。
5.4洁净室工程中的风管与设备之间应有柔性短管，百级洁净室供应商，外表不得结露，当有此可能时应改为双层短管。
单层短管必须光面朝里，双层时外层应光面朝外。 【检查方法】外观检查。
【结果处理】有结露可能的一定要换成双层。
5.5安装在负压段的柔性短管应处于绷紧状态。
【检查方法】外观检查。
*5.6洁净室工程送风管上应按设计“6”要求设消声器、防火阀。消声器一节应不小于900mm。 【检查方法】外观检查。
【结果处理】无防火阀的一定要补装。
*5.7无尘车间空调器（箱）内，至少应有表冷器和加热器，不得无加热器（特殊干燥地区如新疆除外）。寒冷地区无尘室空调器（箱）或新风空调器（箱）入口必须有预热器。
【检查方法】外观检查
【结果处理】非特殊干燥地区一定要补装加热器。
【参考】净化车间的空调系统夏季工况的基本原理是先冷下来再热上去以降低相对湿度，只有表冷器的属不合格。
【参考】净化室宜采用表冷器安在风机正压段，并不用水封排凝结水而是用气封的办法。旧做法表冷器在负压段，易使大量凝结水排不出去，滋生细1菌。
【参考】空调器负压段表冷段的冷凝水排水口下必须有足够高的存水弯，百级洁净室，如有阀门，应有冬季关掉阀门的指示。
【参考】空调器内加湿器不应采用有水介入空气的加湿方式，以消除细1菌生存条件和水中杂质。
【参考】无尘室净化工程空调器的正压段出口前应有效率不中效的过滤器。
5.8洁净室工程送风末端过滤器，应是亚高1效过滤器或玻璃纤维滤纸的高1效过滤器，不得用木质框架。折叠形的滤芯和分隔板必须紧密坚挺，不得有明显松软晃动现象。
【检查方法】打开扩散板抽查或查阅图纸，查铭牌合格证明确标出所用高1效过滤器的额定风量、效率、阻力。
【结果处理】不合要求的应予更换。
5.9无尘室工程中的送风末端过滤器不应安在空调箱内，应安在送风口。如不能安在送风口，应安在离送风口较近的管道或夹层、顶棚内。
【检查方法】外观检查。
【结果处理】如已安在空调箱内，应检查加湿对其有无影响，应每天查看过滤器是否受损，并有记录。并应考虑24小时连续运行洁净室无尘车间或提出开送风系统时风道自净。
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