有关净化工程知识
在一定空间范围内,将空气中的微粒子、有害空气、细1菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。净化工程所特别设计的房间,无菌洁净室供应,不论外在空气条件如何变化,室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能。 在一定空间范围内,四平无菌洁净室,将空气中的微粒子、有害空气、细1菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。净化工程所特别设计的房间,不论外在空气条件如何变化,室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能。
FFU具有的特点:
第yi,灵活性:因为FFU是自带动力的,它不受区域的限制,在一个偌大的无尘厂房里可根据要求,分区控制,而且,随着半导体生产工艺的变化,厂房布局必然要作相应的调整,FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松,而且不会带来二次投资。
第二,可再利用性,从理论上讲,一时不用的FFU设备,可以拆下来,密封好,妥善保管,留待下次使用。
第三,负压通风,提供无菌洁净室,这是FFU的特点,由于它本身能够提供静压,无菌洁净室哪家好,使得送风静压箱相对于无尘厂房负压,这样,静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区内,使得密封变得很简单而且安全。
第四,缩短建设周期,使用FFU省掉了风箱的制作和安装,因为风管在洁净工程中,占掉很大的建设周期,任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益,选用FFU成为了一种可能。
第五,减少运行成本,虽然在选用FFU时,初期投资要比使用风管通风高,但在它后期运行中,突出的表现出节能,免维护等特点,用大循环减少40%的运行成本。
根据建筑提供的建筑平面图,工艺提供的工艺设备平面图和工艺对各洁净室的洁净度,温、湿度等环境的要求,即可进行净化空调系统的划分工作。
(一)净化空调系统的划分原则
1、洁净度,温、湿度及其精度相同或相近的洁净房间宜划为一个净化空调系统。便于洁净度和温、湿度的控制。
2、距离较近的洁净房间宜划为一个系统,可减少系统管道的长度和管道交叉。
3、有条件时可将 4 级、5 级单向流和 6 级、7 级、8 级非单向流组成混合流净化空调系统。
4、洁净室不宜与一般空调房间合为一个系统。
5、使用规律和使用时间不相同的洁净室不宜合为一个净化空调系统。
6、产尘量大、发热量大、有害物多、噪声大的房间宜单独设计为一个系统。 7、混合后会产生剧1毒、引起火灾和爆1炸的房间不应合为一个净化空调系统。 8、有1剧1毒和易燃易爆的甲、乙类房间应单独设系统,而且应为不回风的直流系统。
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