六氟化硫气体的熄弧性能也是非常好的，这有以下几个方面的原因:
六氟化硫气体在电弧的作用下会发生分解和游离，有多原子结构分子分解为单原子或带电粒子的气体，在2000℃左右开始分解为低氟化物，4000℃左右开始游离，6000℃左右时游离的迅速，当温度高于10000℃时，六氟化硫气体就全部游离了;这种内部的变化将影响气体的导热、导电性能，使它的导热、导电性能大大增强。
气体导热性能增强，电弧的散热就加快了，这样就有利于电弧熄灭后间隙中的绝缘介质迅速降温，苏州六氟化硫，有利于低氟化物复合成六氟化硫，同时有利于恢复绝缘，大大降低了电弧的复燃，有利于熄弧。
从医学的角度来讲，各种分解物气体及生成物对人体的影响程度不光取决于其毒性的大小，还与吸入到人体内量的大小和每个人的身体素质有关。作为客观地判断依据，日本将每一种动物物质的允许浓度设定为五级。
即: A-- i低致命浓度; B-- 半致命浓度( 50% 为死i亡浓度); C-- 短时间停留极限，六氟化硫结构，通常为 15min ; D-- 出现毒性反应的i低浓度; E-- 为每天 8h ，一周 40h 的正常劳动时间，大多数人在此浓度下工作，均不会对健康有不良影响。
硫在氟气流中燃烧，生成的产物凝聚在冷阱中。随后进行纯化，使产物气化并通过10%的KOH热溶液（不用NaOH）洗涤除去其中的杂质（HF，SF2，SF4，SOF2，六氟化硫分子，S2F10）。然后用P4O10干燥产物气体，并在室温下通过活性炭除去S2F10。3、使SO2在过量的F2中燃烧可生成SF6。反应温度约650℃，产物在冷阱中凝聚，其中除SF6外主要杂质是SO2F2。纯化时将其通过装有水和热的10%KOH溶液的洗涤瓶，后用P4O10干燥。
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