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江苏全自动清洗机江苏全自动清洗机
RCA全自动清洗机可用于2~12寸清洗、蚀刻、去胶、显影、电镀。本设备采用模块化设计,其机械手传输系统模块易安装,通过更新模块组合可以实现不同的功能。设备可以配备独立的干燥系统,该干燥系统为卧式旋干机,通过离心力去除晶圆表面水分,拥有干燥效果好,,振动小,噪音低等特点。通过干燥系统模块选择可以实现干进干出功能。设备采用12~15寸控制面板,通过面板控制可以选择各种运行模式,选择及编写工艺配方等。设备带消防设备,机械手带防撞设置,机台各模块之间及模块内零部件互锁功能等。江苏全自动清洗机......
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