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Diener等离子清洗机Tetra30价格产品大图

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上海尔迪仪器科技有限公司

Diener等离子清洗机Tetra30价格Tetra30 等离子系统可以组合成不同功能的机型,例如组合成模块系统。下面是能够与 Tetra30 等离子系统组合使用的常见选装件的概览:Tetra30 等离子系统主要应用于以下领域:分析、 考古、汽车、研究和开发部门、半导体技术、小批量生产、塑料技术、微系统技术、传感技术、纺织技术。基本装备:根据具体组件/选装件,外壳规格会有所不同。腔室容积:根据具体版本 30 - 50 升。供电电源:立式设备为 400 V/3 相位。气体供给:针型阀、质量流量控制器 (MFC)。真空腔室:矩形,铝,带铰链的门,(宽:305 mm,深:370 mm,高:300 mm)。装载件:产品支架(选项:水冷型)、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃 。电极:单层或多层、RIE。控制系统:PCCE 控制系统 (Microsoft Windows CE)。PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)。压力测量:Pirani/电容式压力计。计时器:数字式。发生器:80 kHz:功率 1000 W、13.56 MHz:功率 0 - 600 W;0 - 1000 W、2.45 GHz:功率 0 - 850 W、所有发生器均为 0 - 100.% 无级可调型 。其它选项:备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、法拉利笼、等离子体聚合配件、测试墨水、氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM 样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装,包括培训。可应要求提供的其他选项。Diener等离子清洗机Tetra30价格
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