当所需填充的通孔为100μm 或要求更高时,
用于标准通孔的掩模印刷设置是不够的。填充标准通孔典型的印刷设置是单次印刷, 中等速度( 10-20 mm/ s ) 和中等压力, 压力辅助烧结,通过在Z 轴方向加压烧结,抑制X-Y 平面上的收缩;无压力辅助烧结,在叠层体材料间加入夹层(如在LTCC 烧结温度下不烧结的氧化铝),约束X 和Y 轴方向的移动,烧成后研磨
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当所需填充的通孔为100μm 或要求更高时,
用于标准通孔的掩模印刷设置是不够的。填充标准通孔典型的印刷设置是单次印刷, 中等速度( 10-20 mm/ s ) 和中等压力, 压力辅助烧结,通过在Z 轴方向加压烧结,抑制X-Y 平面上的收缩;无压力辅助烧结,在叠层体材料间加入夹层(如在LTCC 烧结温度下不烧结的氧化铝),约束X 和Y 轴方向的移动,烧成后研磨掉上下面夹持用的氧化铝层;各工件上的温度不均匀,造成有的工件温度高,钎料流淌过多,有的工件温度不足,钎料还未完全熔化铺展,钎焊质量一致性差,而且加热周期长,效率低。
对于高密度布线的LTCC 基板, 采用掩模印刷法比较合适。掩模版材料通常采用0.03-0.05 mm厚的黄铜、不锈钢或聚酯膜制作, 在上面刻成通孔。机械冲孔形成的微通孔冲孔形成的微通孔孔径和孔距的一致性较好, 顶部边缘比较平滑, 但底部边缘较粗糙, 内壁比较平直, 顶部和底部开口大小相接近。微波滤波器是无源射频器件中重要的组成部分,用以有效控制系统的频响特性。直观表现为,在滤波器所设定的额定频率范围内,信号可以尽可能地无损通过,而在此频率范围以外,信号需要被尽可能地衰减。
当冲模开口因磨损超过某一值时, 微通孔背面的开口就会增加很大, 此时应该更换冲模。影响微通孔质量的另一因素是通孔内的残余物, 它是残留在通孔开口中的一小片LTCC 瓷带残余, 在冲孔时没有完全除去。对于高密度布线的LTCC 基板, 采用掩模印刷法比较合适。掩模版材料通常采用0.03-0.05 mm厚的黄铜、不锈钢或聚酯膜制作, 在上面刻成通孔。
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