制备
1、直接合成法 经净化后的氟（含HF≤0．5%）和硫反应生成六氟化硫及少量的S2F10、SF4、SF2和S2F2。利用其化学稳定性好和对设备不腐蚀等特点，在冷冻工业上可用作冷冻剂（操作温度－45~0℃之间）。经水洗、碱洗除去绝大部分杂质气体，再经热解炉分解S2F10成SF6和SF4（300～350℃），然后经碱洗进一步除去杂质，净化后的SF6气体经硅胶及分子筛干燥器干燥后，
六氟化硫处置与储存
制备
1、直接合成法 经净化后的氟（含HF≤0．5%）和硫反应生成六氟化硫及少量的S2F10、SF4、SF2和S2F2。利用其化学稳定性好和对设备不腐蚀等特点，在冷冻工业上可用作冷冻剂（操作温度－45~0℃之间）。经水洗、碱洗除去绝大部分杂质气体，再经热解炉分解S2F10成SF6和SF4（300～350℃），然后经碱洗进一步除去杂质，净化后的SF6气体经硅胶及分子筛干燥器干燥后，制得六氟化硫产品。
将硫、二氯化LIU、一氯化硫、二liu化碳或硫化氢等加入到无水氟化氢中，以镍为阳极进行电解即可制得六氟化硫。或氟和硫直接反应制备六氟化硫。还可以金属氧化物为催化剂于300℃下用空气氧化四氟化liu，或者在500～2000℃使氟化硫热解。
如果六氟化硫气体中含有超过规定的水分，当其湿度发生变化时，就可能凝结在固体绝缘表面使该面变潮，这时设备的沿面放电电压将显著下降。六氟化硫气体在电弧和电晕作用下分解生成的低氟化合物气体，假如没有水分子这个外部条件是不会生成SO2、HF及其它有害物质的，从而也就可以避免由它们产生的设备腐蚀。SF6气体已有百年历史，它是法国两位化学家Moissan和Lebeau于1900年合成的人造惰性气体，1940年前后，美国军方将其用于曼哈顿计划（核军事）。所以，设备充装六氟化硫气体必须严密措施防止水分进入。
六氟化硫气体泄漏检测方法
目前采用第二种试验方法较为准确，其实施程序是：抽真空检验→SF6气体→六氟化硫气体泄漏检验。
具体过程为：在GIS经真空检漏并静止SF6气体5h后，用塑料薄膜在法兰接口等处包扎，再过24h后进行检测，如果有一处薄膜内SF6气体的浓度大于30ppm，则该气室漏气率不合格。同样易被人体湿润的粘膜表面吸收而生成氢i氟酸，它对人体的危害同氧化硫一样——是眼和呼吸道，但危害更大。如果所有包扎薄膜内SF6气体的浓度均小于30ppm，则认为该气室漏气率合格。
六氟化硫气体泄漏在线监控报警系统是检测现场SF6气体浓度、氧气含量及温湿度等环境数据，并通过大量数据分析处理做出控制以及告警的智能气体报警系统。
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