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大阪真空的涡轮分子泵(复合分子泵)的主要特点：

●无油的超真空环境

●机械式的气体分子排气(动态排气),对所有的气体的排气速度大致相同

●可排稀有气体和腐蚀性气体

●可连续排大流量气体

●可工作的压力范围(～10-10Pa)










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