净化管路过滤器CLF系列
●滤芯是PTFE制膜和PTFE制不织布构成的双重构造确保了本产品的安定的性能。可以地0.01μm的微粒子
●使用的部件在无尘清洁室里进行了精密清洗。附着的微粒子，能立即投入使用。
过滤精度处理空气量配管连接口径
0.01μm100 l/minRc1/8.Rc1/4
小型导向工
小金井气缸
净化管路过滤器CLF系列
●滤芯是PTFE制膜和PTFE制不织布构成的双重构造确保了本产品的安定的性能。可以地0.01μm的微粒子
●使用的部件在无尘清洁室里进行了精密清洗。附着的微粒子，能立即投入使用。
过滤精度处理空气量配管连接口径
0.01μm100 l/minRc1/8.Rc1/4
小型导向工作台MGT系列●小型、高刚性。
●工作台、导轨、气缸一体。
●装备4点接触式直线导轨。
缸径6～20
mm行程10～50
mm配管连接口径M3～M5
多用途滑台●搭载直线形导轨，确保直进
●支持多面装载，三个面均可载物，充分加大了设计自由度
●实现超薄小形化
mm行程 10～60
mm配管连接口径 M5
杆式滑块
●在工作台上，将两端出杆气缸与导轨紧凑地合二为一，实现了、高刚性、高出力的新型执行元件。采用中心挡块受力的结构使工作台倾斜，确保稳定的精度。考虑到安装、拆卸的重复性，预先安置了定位销孔。
缸径 mm 6～25
行程 mm 10～80
配管连接口径 M5
Z滑台
●搭载了直线型导轨的薄型执行元件
●双活塞杆气缸实现高输出力
●甚至有附缓冲件，尾端保持型，对称型的式样
缸径 mm 6～25
行程 mm 10～100
配管连接口径 M5.Rc1/8
静电电位传感器 (EP传感器)EP传感器DTY-EPS系列静电电位传感器 (EP传感器) EP传感器DTY-EPS系列
●EP传感器可以在生产线中进行静电测定、即时监测。
●集成型设计，使得不需要连接放大器等外部控制部件即可使用。
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