纳米金刚石微粉
纳米金刚石微粉是高能在负氧条件下爆轰合成而制得的。在爆轰舜间产“生合成金刚石所必需的超高压和高温条件。同时“生的游离碳原子就形成
了纳米级的金刚石颗粒。纳米金刚石不同于通常的静压合成金刚石，没有棱角呈球形、单品粒尺寸只有几个纳米。
主要应用于以下几个方面:
(1)作为超精密抛光和研磨材料，用于磁头、硬盘、宝石、硬质玻璃、陶瓷以及硬质合金的
抛光布价格
纳米金刚石微粉
纳米金刚石微粉是高能在负氧条件下爆轰合成而制得的。在爆轰舜间产“生合成金刚石所必需的超高压和高温条件。同时“生的游离碳原子就形成
了纳米级的金刚石颗粒。纳米金刚石不同于通常的静压合成金刚石，没有棱角呈球形、单品粒尺寸只有几个纳米。
主要应用于以下几个方面:
(1)作为超精密抛光和研磨材料，用于磁头、硬盘、宝石、硬质玻璃、陶瓷以及硬质合金的超精密抛光;
(2 )用作润滑剂或者机油的添加剂,能够大大改善I业机械和车辆的运转性能,减少故障,延长使用寿命;
(3)金属模具、工具、部件等的镀膜,能够提高性、表面硬度、延长使用寿命;
(4 )橡胶或者塑料的增强剂、散热剂。
四.抛光液检测之加工工艺分析
1.抛光槽可采用普通钢板制作，内表面需刷防酸涂料，外表面焊嵌散热片。再将该槽放入冷却槽内。冷却液采用自来水， 可与水洗槽相接。避免浪
费。
2.工件必须在抖动过程中抛光.应尽量避免工件重叠，必要时可加纱网隔开。
3.过滤:是指循环过滤。 可采用膜片式PP材料过滤机，两套滤芯，-套使用，另-套清洗备用。 若不过滤反应生成物，任其附着在工件表面将会
影响终的光亮度。
在CMP中,抛光垫具有以下功能:
(1)能贮存抛光液,并把它运送到工件的整个加工区域,使抛光均匀;
(2)从工件抛光表面除去抛光过程产生的残留物质(如抛光碎屑、抛光垫碎片等);
(3)传递材料去除所需的机械载荷;
(4)维持抛光过程所需的机械和化学环境。抛光垫性能主要由抛光垫的材料种类、材料性能、表面结构和状态等决定。
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