山东益德净化名词解释洁净度10000级(cleanliness class 10000):大于等于0.5μm的尘粒数大于35000粒/ m3 (35粒/L)且小于等于350000粒/m3 (350粒/L)。 ?洁净度100000级(cleanliness class 100000):大于等于0.5μm的尘粒数大于350000粒/ m3 (350粒/L)且小于等于3500000粒/m3(3500粒/