2、高纯气体充装的抽空操作：①开启真空泵，同时抽空汇流排，负压值≥0.1MPa，继续抽真空15~30min，关闭抽空管道截止阀后，停止真空泵;②缓慢开启抽空总阀(防止泵油外溢)。③真空表指示值<-0.1MPa④抽空5~15分钟后。⑤关闭抽空总阀。⑥开启通气阀(防止抽空管路过油)。⑦关闭真空泵，抽空结束。3、高纯气体充装的管道保压操作:①充装结束后，关闭充装排总阀。②30分钟后高纯，襄阳伙牌
