不相容的气体在制备中的事故回顾与分析，以下是所知道的近年来发生的事故： 1996-台湾，N2O/H2，氮气高纯气体， 人员受伤，1997-加拿大，CO/Ai；1997-英国，CH4/Air ， 人员受伤；1997-南美，CH4/Air， 压力表炸毁；1997-美国，4% H2/Air，氦气高纯气体，隐患事故；2003-德国，甲烷高纯气体，N2O/CO，人员受伤；2004-法国，卤代烃/Air ，隐患事故；2007-兰州，CH4/Air， 人员受伤。以上事故中，多数是配制空气中的可燃气体，这类气体大多用在化工厂、煤矿中环境气体的检测中，事故的原因或者是错误的操作；或者是不相容的气体同时接入一个系统中，由于阀门漏气产生倒灌；或者是浓度计算错误；或者是错误的充装顺序造成的。对气体混合气的事故分析，人们往往重视气体的毒性而忽略了其可燃性。空气中可燃性气体的制备经常发生，因此制定严格的操作程序是非常重要的。
高纯气体如何安全供气？易燃易爆气体此类气体只要形成了可燃气体混合气和达到着火温度，便会发生燃烧事故，因此在可燃气体入口处、气体钢瓶存放间、洁净室内使用可燃气体处、敷设可燃气体的管廊或技术夹层以及可能聚集可燃气体的场均应设置可燃气体报警装置。具体要求如下：①可燃气体比空气轻者，报警装置设置在所处场所的顶部。②可燃气体比空气重者，报警装置设置在所处场所的低处。③可燃气体的报警装置应与相应的事故排风装置设电气连锁，当空气中的可燃气体浓度达到规定值时，事故排风装置自动开启，同时向洁净厂房的消防安全值班室发出报警信号。
高纯气体对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，氦而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体；而对于氧气，纯度为99.99%即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、氦可作为运载气和保护气；高纯气体可作为配制混合气的底气。色谱分析检测过程中，气相色谱仪对所用的气体纯度有较高的要求，扬州高纯气体，为既达到工作要求，又能延长仪器寿命，所用气体的纯度要达到或略高于仪器自身对气体纯度的要求;否则，若使用不符合要求的低纯度气体，会造成一系列不良影响。
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