日本 易威奇 IWAKI 化学溶液补充泵CFD 原装进口
CFD特点
1分配性能的改进
排出量和1SHOT每1mL,得到了极大的改进的分配性能相比常规的。通过注入在需要时所需的小量,它可以精确地控制晶片清洗液的浓度。
此外,它可以抑制浓度的过冲,也将导致清洗液的成本降低。内置的虹吸防范机制,防止药液外流。
2抗腐蚀结构
接液部分的全氟聚合物(PTFE,PFA,PCTFE),并用在碱半导体应用中,使用的可支持的化学溶液如过氧化氢的酸形成。
泵外树脂(PTFE,PFA,PP,PVC)以及通过使用PTFE涂覆的螺钉,使得它抗性高度腐蚀结构。
3宽范围的排出量的设定
取下盖子的泵下部,可以方便地调整行程长度。每2.7mL 1SHOT的排放是可能的。 (在出厂时,则每1mL 1SHOT。)
4泄漏传感器的标准设备
迅速可在波纹管损坏的时间甚至应对泄漏传感器是标准设备。
iwaki产品型号:
NRD系列
AMP系列
EHN-R / EHN-RF系列
NRD-05
MDM系列
EHN-YN / EHN-YT系列
NRD-08
MDE系列
EWN-R-H2系列
NRD-08Z
MDW系列
EWN-W系列
NRD-12
LK系列
EH-E系列
NRD-20
LK-TC系列
ETU-25NR/ETU-50NR/ETU-120N
NRD-30
TD系列
ESU系列
RD系列
SK系列
FLP系列
RD-12&1253912Z
IX-D系列
FS-N系列
RD-40&1253940X
IX-C系列
FS-100HT2
MD系列
IX-B系列
FS-H系列
MD-F / MD-V系列
AX-K系列
FW / FW-H系列
MD-F
AX-L / AX-M系列
FF / FF-H系列
MD-V
LG系列
FA系列
MX系列
AX-P系列
SB系列
MX-F系列
PDS-105R
CFD
SMX系列
PDS-H 115
TC系列
SMX-F系列
KB系列
TC系列(树脂型)
MXM系列
HRP系列
TC系列(氟塑料型)
Hypera泵V系列
MDG系列
GX系列
GM系列
GM-J系列
GM-V系列
WRU-U2
WRU-U1
NFA-T系列
E系列
WM系列
BRD系列
APN-W系列
APN系列
BA系列
OP系列
PAP系列
MDT系列
MDK系列
SUSSP系列
RO / MP系列
MEA-07E/MEA-22E
CCP
WP / VSW
MP系列
产品参数
吐出量
1 mL/shot
吐出圧力
0.05 MPa
ストローク数
30 spm
主要材質
PTFE、PFA、PCTFE
液温範囲
20~60℃