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主营产品:真空设备

[供应]本溪真空-超高真空-诺思真空(推荐商家)

更新时间:2019-12-13 12:05:28
气体及控制系统。氩气是进行磁控溅射时应用广泛的气体。在溅射时,氩气的多少直接关系到溅射速率以及溅射的均匀性等,因此需要严格控制气体的进气量,一般用质量流量计来实现控制。溅射功率的增加会提高膜厚的均匀性、溅射速率,随着溅射功率的增加,超高真空,等离子体的面积增大,因此膜层的均匀性会提高。功率的增大,能提高氩气的电离度,增大溅射出的靶材原子数量,本溪真空,从而提高了溅射速率。



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沈阳诺思真空技术有限公司
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