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高纯氢气检测标准 GB/T 3634.2-2011
高纯氢气检测项目 纯度100-氧-氩-氮-CO-CO2-甲烷-水分
氢气(H2)纯度(体积分数)/10-2 ≥99.999
氧(O2)含量(体积分数)/10-6 ≤1
氩(Ar)含量(体积分数)/10-6 ≤供需商定
氮(N2)含量(体积分数)/10-6 ≤5
一氧化碳(CO)含量(体积分数)/10-6 ≤1
二氧化碳(CO2)含量(体积分数)/10-6 ≤1
甲烷(CH4)含量(体积分数)/10-6 ≤1
水分(H2O)含量(体积分数)/10-6 ≤3
杂质总含量(体积分数)/10-6 ≤10