广州苏盈电子科技-MEMS流量测量
作为 以煤炭 为主要 能源 的 ，马鞍山MEMS流量测量， 已有 上百万 个烟囱 不断 向大气 排放 烟气 。 排放 控制 是 污染 的重要 项目 ，每一个烟囱 都要 安装 烟道 分析仪器 和流量计 ，组成 连续 排放 监控系统 。 烟道 气流量 有很大 原因 是烟道 尺寸 不规则 、气速变化 不定 、流速 范围 大、脏、尘、腐蚀 、高温 、无直管 段等。途径 有五种 ：铁路 、航空 、水运 、管道运输 。 而管道运输 虽然 早已 存在 ，但其应用 却并不普遍 。 由于 环境保护 问题 的突出 ，管道运输 的特性 越来越 受到重视 。 管线 输送 必须 配备 流量计 ，它是控制 、分配 和调度 的眼睛 ，也是监控 安全 、经济核算 的必要 工具 。
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有许多 方法 可以 测量 压缩空气 的流量 ，如转子流量计 、涡街流量计、热质 或压差 式流量计。 压气机 制造厂 空压机 出厂 检验 ，多采用 精度 较高的压差 式流量计 (如ASME 喷嘴 )测量 流量 ，而在空压机 站房 内压缩空气 流量测量 更多 采用 热式流量计。热质 流量计 便携 、安装简单 、灵活性 好、无压差 ，因此 应用 越来越 广泛 。 许多 站房 压缩机的流量 标定 或节能 标定 活动 ，以及 许多 后处理 厂家 的试验室 ，我们都 可以 看到 许多 热质 流量计 的身影 。热质量流量计 采用 传热 原理 。 当两个 温度传感器 放置 在测量 气流 中时 ，一个 温度传感器 用来 感应 气流 的温度 ，另一个 传感器 加热 到高于 测量 的气体 温度 。
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气量 增加 了，加热 传感器被带走 的热量 也增加 了。 即，两个 传感器 的温度差 会随着 空气 流量 的变化 而变化 。 从而 可以 根据 测得 的温度差 来计算 被测点 气流 的质量流量 。热力 流量计 是根据 热扩散 原理 设计 的流量仪表 ，即利用 液体 流经 发热体 时，发热体 的热量散失 与流体 流量 呈一定 比例 关系 .该系列 流量计 的传感器 有两个标准级 RTD ，一种 用来 测量 流体 温度 ，一种 用来 测量 流体 温度 ，当流体 流动 时，氧气MEMS流量测量，两者之间 的温度差 与流量 的大小 成线性关系 ，再通过 微电子 控制技术 将这种 关系 转换 为线性 输出 ，用于 测量 流量 信号 。
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利用流动流体传递热量改变测量管壁温度分布的热传导分布效应的热分布式流量计曾称量热式;2)利用热消散（冷却）效应的金氏定律。又由于结构上检测元件伸入测量管内，也称浸入型或侵入型有些在使用时从管外插入工艺管内的仪表称作插入式。
TMF无活动部件，无分流管的热分布式仪表无阻流件，压力损失很小；带分流管的热分布式仪表和浸入性仪表，虽在测量管道中置有阻流件，但压力损失也不大。
TMF使用性能相对可靠。与推导式质量流量仪表相比，不需温度传感器，压力传感器和计算单元等，仅有流量传感器，组成简单，出现故障概率小。
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热分布式仪表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想气体的双原子气体，不必用这些气体专门标定，直接就用空气标定的仪表，实验证明差别仅2%左右；用于Ar、He等单原子气体则乘系数1.4即可，
热式质量流量计响应慢。
被测量气体组分变化较大的场所，因cp值和热导率变化，测量值会有较大变化而产生误差。
对小流量而言，仪表会给被测气体带来相当热量。
对于热分布式TMF，被测气体若在管壁沉积垢层影响测量值，必须定期清洗；对细管型仪表更有易堵塞的缺点，一般情况下不能使用。
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热分布式仪表使用口径和流量均较小，较多应用于半导工业外延扩散、石油化工微型反应装置、镀膜工艺、光导纤维制造、热处理淬火炉等各种场所的氢、氧、氨、燃气等气体流量控制，适用的工业管径范围宽，可达3m，输出信号与被测流量线性，精度高，可测量电导率≥1μs/cm的酸、碱、盐溶液、水、污水、腐蚀性液体和泥浆、矿浆的流体流量。但是空气流量计不能测量气体、蒸汽和纯净水的流量。
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热力流量计是根据热扩散原理设计的流量仪表，即利用液体流经发热体时，发热体的热量散失与流体流量呈一定比例关系.该系列流量计的传感器有两个标准级RTD，一种用来测量流体温度，体时流量传感器则宁可选择水平安装，因为这样便于做到调零的零偏置。
浸入式 大部分浸入式TMF性能不受安装姿势影响。然而在低流速测量时因受管道内气体对流的热流影响，使安装姿势显得重要。
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热式气体质量流量计大都采用开路的负压空气标定，然后修正到高压力工况，或者修正到其他气体，比如气、二氧化碳、氧气、氢气、氨气等等。修正标定必然导致测量精度不能保证，低压标定后的表应用在高压工况，空气介质标定后的表应用在其他气体介质，测量精度无法保证。热式流量仪表用得有两类，流体计量是研究物质量变的科学，质量互变规律是事物发展的基本规律，因此其测量对象已不局限于传统意义上的液体管道，凡需掌握量变的地方，都存在流量测量的问题。
都采用了极为庞大的流量计，在能源管理和经济核算中起着举足轻重的作用。
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对小流量而言，仪表会给被测气体带来相当热量。
对于热分布式TMF，被测气体若在管壁沉积垢层影响测量值，氮气MEMS流量测量，必须定期清洗；对细管型仪表更有易堵塞的缺点，煤气MEMS流量测量，一般情况下不能使用。使用空气流量计时，通过过流式流量计推动涡轮叶片转动。叶片转速与流过空气流量计的气量成正比。流量计口安装有一特殊设计的导流架，随着流量的增大，对进入流量计的气流进行加速。采用导向架可以消除涡流、非对称流等潜在流体扰动。同时，推动涡轮叶片的动力增加。在允许的误差范围内，确保测量，即使在小流量条件下也能测量。
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