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[供应]单靶磁控溅射仪报价-单靶磁控溅射仪-沈阳鹏程公司(查看)

更新时间:2021-10-5 10:28:00





磁控溅射介绍

以下内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供,今天我们来分享磁控溅射产品的相关内容,希望对同行业的朋友有所帮助!

用磁控靶源溅射金属和合金很容易,单靶磁控溅射仪,点火和溅射很方便。这是因为靶(阴极),等离子体和被溅零件/真空腔体可形成回路。但若溅射绝缘体(如陶瓷),则回路断了。于是人们采用高频电源,回路中加入很强的电容,这样在绝缘回路中靶材成了一个电容。但高频磁控溅射电源昂贵,溅射速率很小,同时接地技术很复杂,因而难大规模采用。为解决此问题,单靶磁控溅射仪多少钱,发明了磁控反应溅射。就是用金属靶,加入气和反应气体如氮气或氧气。当金属靶材撞向零件时由于能量转化,与反应气体化合生成氮化物或氧化物。



小型磁控溅射镀膜系统简介

小型磁控溅射镀膜系统适合于溅射镀膜科研、教学与小批量打样,单靶磁控溅射仪报价,可、低成本的制备多种微纳米厚度的膜层。

具有一体化、占用空间小、灵活的特点,无需380V工业电,无需额外冷水机,采用无油干泵分子泵组,无需操心真空系统和操作间环境泵油污染。

保证设备具有优异的质量与性。触摸屏控制界面,单靶磁控溅射仪厂家,带来简单、操作方便的体验。

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溅射镀膜

溅射镀膜就是在真空中利用荷能粒子轰击靶表面,使被轰击出的粒子沉积在基片上的技术。通常,利用低压惰性气体辉光放电来产生入射离子。阴极靶由镀膜材料制成,基片作为阳极,真空室中通入0.1-10Pa的气或其它惰性气体,在阴极(靶)1-3KV直流负高压或13.56MHz的射频电压作用下产生辉光放电。电离出的离子轰击靶表面,使得靶原子溅出并沉积在基片上,形成薄膜。溅射方法很多,主要有二级溅射、三级或四级溅射、磁控溅射、对靶溅射、射频溅射、偏压溅射、非对称交流射频溅射、离子束溅射以及反应溅射等。

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