真空腔体烘烤注意事项
真空腔体烘烤时的真空度变化结果,非标定制报价,烘烤采用缠绕加热带的方式。当真空度达到约10-3 Pa时,开始给加热带逐渐通电加热,保持腔体在150℃下进行长时间烘烤。烘烤过程中关闭离子泵,同时也给离子泵通电进行加热烘烤,这时的真空腔体只靠分子泵和前级泵来排气。随着腔体温度的升高,腔体内表面吸附的水蒸气等气体分子大量放出,真空度会迅速恶化。气体的放出量随着烘烤时间的延长而逐渐减少,非标定制价格,因此真空度也逐步好转。停止烘烤时,切断加热带和离子泵的烘烤电源,然后趁腔体仍处在高温的状态下对钛升华泵进行除气处理。钛升华泵的除气处理是指给Ti丝通电加热,但又控制温度在Ti升华温度之下的操作。钛升华泵除气处理的目的是清除吸附在Ti丝表面的气体分子以及其他可能的污染物,以确保钛升华泵的正常工作。充分完成钛升华泵的除气处理之后,启动离子泵和钛升华泵,加大真空排气的力度。随着排气力度的增大和由于腔体温度降低而放出气体的减少,系统的真空度会迅速好转。
新完成的腔体一次烘烤时,一般需要一周时间,重复烘烤后单独的烘烤时间可以适当减少。为了地测量真空度,停止烘烤后也应该对真空计进行除气处理。如果真空泵能力充分而且烘烤时间充足的话,烘烤后真空度可提升几个数量级。
真空腔体中抽气管道的设计原则
为一个工艺选择真空泵时,工艺室和泵之间的抽气管道可能和泵的选择一样重要。要使腔体抽气速率达到大,需要笔直的抽气管道(长度短)并使用直径尽可能大的管道。
看起来似乎很简单,但是这里有许多因素需要考虑。实际上,如果我们从物理学角度考虑,就可以明确哪些是关键因素。真空腔体
在稳定状态的条件下,如果抽气管道内没有气源(泄漏)或气体减少(冷凝),抽气管道任何截面的质量流量必须相同。简单而言,进入工艺室的气体必须从泵出来。
已知气体摩尔流量为M(公斤/摩尔)、抽气速率为S(立方米/秒)、压力为P(帕)、温度为T(开尔文),则质量流量计算如下:
质量流量(公斤/秒)=(M*P*S)/(Ro*T)
Ro=通用气体常数
对于大多数抽气系统而言,气体温度(T)在抽气管道中不会显著减少,非标定制,而且可以合理地假定为恒定的。
在此情况下,抽气管道任何截面(P*S)的乘积(称为通量)相同。真空腔体
由于抽气管道的压力差是气体流动的推动力,可见压力(P)必须在工艺室中为高值,在泵入口为低值。
由于我们假定通量恒定,可见抽气速率(S)在工艺室为小值,在泵入口为大值(等于泵速)。
真空腔体产品特点
沈阳鹏程真空技术有限责任公司——真空腔体供应商,我们为您带来以下信息。
1.真空环境使用,高低温真空环境使用;采用不锈钢,铝,陶瓷等出气率低的材料制作;
2.标准化设计,可根据客人要求定制不同形状与使用环境腔体;
3.氦气检漏,保压老化,达到客户的要求。
应用范围:军类单位,大专院校,科研院所,航空航天,生物制药,非标定制厂家,微电子,新能源,新材料等等。
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