产品名称：气体质量流量控制器
标准量程（N2）：0～5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM；
0～1、2、3、5、10、20、30SLM
准精度：±1％F.S； 重复精度：±0.2%F.S
响应时间：电特性 ＜10sec 气特性＜1～4sec
线性：±（0.5～1）％F.S 工作压差范围：0.05～0.3MPa
耐压：3，10MPa； 工作环境温度：5～45℃
输入输出信号电压：0～+5.00V
电源：+15V500mA、-15V500mA(输入阻抗大于100K，输出电流不大于3mA)
电连接器：D14pin
外形尺寸：130*28*121mm
重量：约1.0kg
接口尺寸：Swagelok :Φ3.Φ6.Φ10.Φ1/4〞.Φ3/8〞....
VCR接头：Φ1/4〞.Φ3/8〞.Φ1/8〞........
DSN系列气体质量流量控制器, 即称Mass Flow Controller（缩写为MFC）, 不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
