无尘车间--对铺设场地的要求：
1、地板的铺设应在室内土建及装修施工完毕后进行；
2、地面应平整、干燥、无杂物、无灰尘；
3、地板下可使用空间，布置敷设电缆、电路、水路、空气等管道及空调系统应在安装地板前施工完毕；
4、大型重设备基座固定应完工，设备安装在基座上，基座高度应同地板上表面完成高度一致；
5、施工现场备有220V/50HZ电源及水源。
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无尘车间洁净室管理制度
1 半导体制造业必须在洁净的环境中进行，在施工中必须遵循行业规则和程序。本文件列出了这些规则和程序的概要。为了保证项目的成功，现场的每一位人员都必须遵守。
2 图纸上对于施工的洁净建设草案将被强制执行。这包括除了原料和成品仓库以外的所有主厂房内的地方。
3 洁净室施工管理制度目前主要针对一期主厂房内的局部改造和扩建，后期所有洁净室施工项目仍按照本制度规定的原则进行管理。
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在高等级的无尘室中从天花板到地面，完全除去微粒子的空气须在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流动。这是在约10秒内将室内空气和完全过滤空气完全交换所计算出来的数值。同时，基因工程无尘车间企业，空气的流向也必须要有控制才行。特别要保证气流的流通路径畅通无阻，因为在流通路径中有障碍物的话，容易产生空气空气涡流而形成空气的滞留区域，使得附近已发生的微粒子无法排除而长时间漂流在无尘室内，而一部分会附着在周边机器设备的表面而引起污染。
控制气流可防止微粒子累积，但对于带电表面的微粒累积就无法防止。
为了防止由静电吸附而引起的微粒附着，通常在无尘室内会使用带电程度在数十伏以下的导电性材料。而对于制造品本身的带电，则采用带电程度很少的搬送形态及接触部品材料，并藉由除电装置进行除电。
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