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主营产品:电阻热蒸发镀膜,磁控溅射,激光脉冲沉积,电子束

[供应]激光脉冲沉积装置厂家-激光脉冲沉积装置-沈阳鹏程真空技术

更新时间:2022-2-11 1:38:41





脉冲激光沉积的应用领域

沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产、销售脉冲激光沉积,以下信息由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供。

脉冲激光沉积技术适合做的薄膜包括各种多元氧化物,氮化物,硫化物薄膜,金属薄膜,磁性材料等。

应用领域:

单晶薄膜外延(SrTiO3,LaAlO3)

压电薄膜(PZT,AlN,激光脉冲沉积装置报价,BiFeO3,BaTiO3)

铁电薄膜(BaTiO3,KH2PO4)

热电薄膜(SrTiO3)

金属和化合物薄膜电极(Ti,Ag,Au,Pt,激光脉冲沉积装置价格,Ni,Co,SrRuO3,LaNiO3,YZrO2,GdCeO2,LaSrCoFeO3)

半导体薄膜(Zn(Mg)O,AlN,SrTiO3)

高K介质薄膜(HfO2,CeO2,Al2O3,BaTiO3,SrTiO3,PbZrTiO3,LaAlO3,Ta2O5)

超导薄膜(YBa2CuO7-x,BiSrCaCuO)

光波导,光学薄膜(PZT,激光脉冲沉积装置厂家,AlN,BaTiO3,Al2O3,ZrO2,TiO2)

超疏水薄膜(PTFE)

红外探测薄膜(V2O5,PZT)



脉冲激光沉积设备介绍

以下是沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您一起分享的内容,沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产脉冲激光沉积,欢迎新老客户莅临。

是比较理想的薄膜与涂层合成设备。可制备的薄膜包括氮化物、氧化物、多层膜、钻石、石墨烯、碳纳米管、2D材料。Blue Wave还提供相关系统配件,例如基片加热装置、原位监测工具。此外,BlueWave还为您提供标准的薄膜以及材料涂层,例如氧化物涂层、导电薄膜、无定型或纳米晶Si/SiC、晶体AlN-GaN、聚合物、纳米钻石、HFCVD钻石涂层以及器件加工。



脉冲激光沉积

以下内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供,希望对同行业的朋友有所帮助。

在一阶段,激光束聚焦在靶的表面。达到足够的高能量通量与短脉冲宽度时,靶表面的一切元素会受热,到达蒸发温度。物质会从靶中分离出来,而蒸发出来的物质的成分与靶的化学计量相同。物质的瞬时熔化率大大取决于激光照射到靶上的流量。熔化机制涉及许多复杂的物理现象,例如碰撞、热,与电子的激发、层离,以及流体力学。

在第二阶段,根据气体动力学定律,发射出来的物质有移向基片的倾向,并出现向前散射峰化现象。空间厚度随函数cosnθ而变化,而n>>1。激光光斑的面积与等离子的温度,对沉积膜是否均匀有重要的影响。靶与基片的距离是另一个因素,支配熔化物质的角度范围。亦发现,将一块障板放近基片会缩小角度范围。

第三阶段是决定薄膜质量的关键。放出的高能核素碰击基片表面,可能对基片造成各种破坏。高能核素溅射表面的部分原子,而在入射流与受溅射原子之间,建立了一个碰撞区。膜在这个热能区(碰撞区)形成后立即生成,激光脉冲沉积装置,这个区域正好成为凝结粒子的较佳场所。只要凝结率比受溅射粒子的释放率高,热平衡状况便能够达到,由於熔化粒子流减弱,膜便能在基片表面生成。



激光脉冲沉积装置厂家-激光脉冲沉积装置-沈阳鹏程真空技术由沈阳鹏程真空技术有限责任公司提供。沈阳鹏程真空技术有限责任公司是从事“电阻热蒸发镀膜,磁控溅射,激光脉冲沉积,电子束”的企业,公司秉承“诚信经营,用心服务”的理念,为您提供更好的产品和服务。欢迎来电咨询!联系人:董顺。


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