催化燃烧装置内设有催化剂床， VOCs氧化分解的起燃温度相对较低(通常在500华氏度到800华氏度之间)，因此使用催化剂焚烧炉有以下几点好处：建造材料相对便宜;燃料消耗小;燃烧过程产生少量二次污染物如CO、氮氧化物等。更重要的是，操作相对简单，VOCs一企一案，使用电线圈作为启动和调节温度的补充热源，无需气体燃烧器。催化剂类型涵盖重金属和贱金属，一定时期内它们可发挥很大效力，通常催化剂的使用有效期为三到四年。因此，催化剂成本也需要列入催化剂焚烧炉的使用周期。
RCO催化燃烧具有净化效率较高，一般均可达99%以上，同时RCO催化燃烧具有运行费用低的优点，其热回收效率一般均可达95%以上。维护措施为低温“闷死”：正常运行前，催化床需先在新鲜风中预热至反应温度，方可通入有机物废气；含硫等毒性物质存在：通过前处理手段除掉此类物质或者选用有相应抗性的催化剂；灰尘、积炭、高沸粘性物：做好除尘等前处理；超温：当催化床温度超过600℃时系统停止运行或者采用新风稀释、冷却降温。
在石油炼制与石油化工行业，对于设备与管线组件、工艺排气、废气燃烧塔（火炬）、废水处理等过程产生的含VOCs废气污染防治技术措施包括：
1.对泵、压缩机、阀门、法兰等易发生泄漏的设备与管线组件，制定泄漏检测与修复（LDAR）计划，定期检测、及时修复，防止或减少跑、冒、滴、漏现象；
2.对生产装置排放的含VOCs工艺排气宜优先回收利用，不能（或不能完全）回收利用的经处理后达标排放；应急情况下的泄放气可导入燃烧塔（火炬），经过充分燃烧后排放；
3.废水收集和处理过程产生的含VOCs废气经收集处理后达标排放。
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