净化工程复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
洁净隧道(Clean
Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域百1分百覆盖使洁净度等级提高至10级以上,千级无尘室,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及。ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点:
A.弹性扩充容易;
B.维修设备时可在维修区轻易执行。
光学微电子净化工程解决方案:
4、光学微电子行业净化工程设计方案分析之无尘车间的特点
B、室内空气参数要求 :
(1)温湿度要求:温度一般为24+2℃,无尘室,相对湿度为55+5%。
(2)新风量大。由于这类车间内,无尘室厂家,人员比较多,可以根据以下数值应取下列的大值:非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;保证室内每人每小时的新鲜
空气量≥40m3/h。
(3)送风量大。为了满足洁净室内的洁净度及热湿平衡,需要较大的送风量,万级无尘室,就300平方米的车间,吊顶高度为2.5米的,如果是万级,送风量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数,是≥25次/h);如果是十万级,送风量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送风量(换气次数,是≥15次/h)。
光学微电子净化工程解决方案:
3、光学微电子行业净化工程设计方案分析之分体空调柜机++FFU送风口
这是简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内,并用彩钢围护起来,在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);KLC风机过滤单元FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。
无尘室-清阳净化系统工程-无尘室厂家由昆山清阳净化系统工程有限公司提供。昆山清阳净化系统工程有限公司是从事“净化工程无尘车间施工,无尘室工程以及暖通空调工程”的企业,公司秉承“诚信经营,用心服务”的理念,为您提供更好的产品和服务。欢迎来电咨询!联系人:蔡总。
产品:清阳净化系统工程
供货总量:不限
产品价格:议定
包装规格:不限
物流说明:货运及物流
交货说明:按订单