无尘车间的百级洁净室垂直层流式方向要保持均一气流必须:(a)吹出面的风速不可有速度上的差异;(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s,0.7m/s)均有涡流之现象发生,而0.5m/s之速度,气流则较均一,目般无尘室,其风速均取在0.25~0.5m/s之间。
影响无尘车间的气流因素很多,如制程[1][2][3]设备、人员、无尘室组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,净化车间工程,亦应列入考虑因素。
一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于无尘车间空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部分的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,实验室净化工程,良率也势必降低。
无尘车间内的工作桌等障碍物,在相接处均会有涡流现象发生,相对地在其附近之洁净度将会较差,在工作桌面钻上回风孔,将使涡流现象减少至低;组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善,亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。
无尘车间净化实验室除了解决空气净化的问题以外,还要尽可能多的为实验工作提供方便,因此在设计上应考虑一些必备的实验室用器皿。
1、无尘车间互锁式传递窗:在P2实验室配有两个传递窗。保证了实验室物流的安全性。互锁式传递窗内有紫外线灯,当污染过物品拿出无尘车间实验室前进行消毒,互锁式传递窗还保证了室内和室外空气的隔绝,方便了实验人员的物品传递,减少了实验人员进出无尘车间实验室的次数,传递窗室内室外都可控制。
2、自动闭门器:根据规范要求,在洁净实验室门上安装有自动闭门器。
3、互锁们:主实验室无尘车间设置一套两门互锁的电子互锁,净化工程施工,当其中有一扇门未关时,另一扇门将无法打开,这样就对进入无尘车间内的气流起到缓冲作用,互锁们还配置有应急开关,当发生意外事故时,按应急开关方便实验室人员尽快逃离现场。
(一)无尘车间物理式净化方式
1.吸附性过滤—活性炭
活性炭是一种多孔性的含炭物质, 它具有高度发达的孔隙构造,净化, 活性炭的多孔结构为其提供了大量的表面积,能与气体(杂质)充分接触,从而赋予了活性炭所特有的吸附性能,使其非常容易达到吸收收集杂质的目的。就象磁力一样,所有的分子之间都具有相互引力
缺点:普通活性炭并不能吸附所以的有毒气体,效率较低、易脱附。
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