高纯六氟化硫
用途：在半导体生产中用作高密度等离子刻蚀的氟源，不会产生含碳副产品；
变压器中的绝缘介质；
金属冶炼中的保护气氛；
六氟化硫断路器、互导传感器、六氟化硫避雷针的灭弧气体
电子级高纯六氟化硫作为一种理想的电子蚀刻气体，广泛应用于微电子技术领域
作为光导纤维制造中的单膜光纤隔离层掺杂剂
作为大气污染监测和水文地质检测领域的示踪剂
肝i脏肿i瘤的超声造影检查的造影剂也作为六氟化硫的用途
气体成分与材料的不相容性
气体在某种条件下与气瓶、阀门、管路材料不相容可导致如下危险：
1、腐蚀
1）湿气腐蚀
例如HCL、CL2在有水存在时很容易腐蚀钢瓶，水分的引入可能来源于客户使用，气体，没有关闭阀门，也可能在充装过程中或水压检验中；NH3、SO2、H2S也有类似的腐蚀。即使是干燥的氯i化氢和氯i气，高浓度时也不能储存在铝合金气瓶中。
2）应力腐蚀
在CO、CO2、H2O共存时，极易腐蚀碳钢瓶。因此在制备含有CO和CO2的标准气体时，气瓶要进行烘干处理，原料气体也要使用高纯气体或不含水分的气体。
2、生成危险的化合物
1）乙i炔和含铜大于70%的铜合金反应生成金属有机化合物。
2）单卤代烃CH3CL、C2H5CL、CH3Br等不能盛装在铝合金气瓶中，标准气体供应商，它们会与铝缓慢形成金属有机卤化物，遇水爆i炸。如果气瓶中含有水分，配制后的标准气体中可以检测出烷烃和氢气。
3、爆i炸反应因气体与阀门密封材料或管路材料不相容引起爆i炸反应。如氧化性气体不能选用可燃密封材料的阀门。在标准气体配制时这一点容易被忽视。其中包括如何计算标准气体的氧化性。
气体工业是国民经济基础工业之一，它涉及到国民经济的各个领域、涉及到人民的日常生活，牵动着高科技的发展。在国民经济高速发展及下业的强劲需求下，我国特种气体行业在2006年后进入发展阶段，年均增速达到17%以上。2011年，二氧化碳，国内特种气体行业产值规模为296.88亿元，较上年增长22.15%;销售收入为297.52亿元，较上年增长21.64%。预计2012年特种气体行业销售规模将达360亿元，2012-2015年复合增长率有望保持10.3%。
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