镀膜制造需要部分耗材1.SIO2颗粒或环状(∮300*∮230*T7.5mm,)需要根据机台配置选用。2.TIO2颗粒。3.晶振片Filtex 6MHZ或INFICON6MHZ。4.监控片BK7 Φ142*80*1.8mm,三水Parylene镀膜,需要根据机台配置选用。5.铜坩埚,需要根据机台配置选用。6.铝箔厚度0.05mm*宽610mm。7.电子灯丝,需要根据机台配置选用。8.离子源,需要根据机台配置选用耗材。
粗抽泵:从大气压下开始抽气,并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵,就是粗油泵。
(4)维持泵:在真空系统中,气量很小时,不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作,此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵,就是维持泵。
只要仪器和系统控制软件的连接,它可以控制涂层的全过程。但(QCM)的准确性是有限的,环保Parylene镀膜,镀膜机部分原因是其监测代替光学厚度的涂层质量。
可承受常规消毒Parylene涂层被广泛应用于各类产品,如心脏起搏器、房间隔缺损封堵器.血管支架、人工耳、人工心脏、超声波探头、线路板,金属配件Parylene镀膜,骨钉、临时手术器械、替换型器件、引流管、脑部探针及针头等产品。
在国外除了心脏起搏 器用派瑞林进行可靠绝缘防护外,脑电极、植入式传感器、射频、血液分析传感器和高频手术刀等微型电子,也都有使用派瑞林。
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