检漏用质量流量计产品介绍 AST10-ALM模拟型质量流量计由质量流量传感器，层流分层件，流量控制器调节阀和放大控制电路组成。量程范围广，从5SCCM～30SLM可选择。 产品概述 ◆热式原理，响应快，精度高 ◆管状分流，不易堵塞 ◆适用于各种低压和高压管道 ◆预热时间短，零漂小，可靠性高 ◆模拟量输入/输出可使用二次表或流量计算机控制和显示流量 AST10-ALM采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量，不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。产品参数 量程范围5SCCM～30SLM准确度±1.0%F.S温度：±1℃线性±0.5%F.S重复精度±0.2%F.S响应时间<1.0s模拟量0～5V、4～20mA供电±15VDC、24VDC工作温度0～50℃工作压力工作压降：<10Kpa耐压范围3MPa/10MPa电气连接DB15孔、DB9针漏率1×10-9SCCSHe温度系数±0.015%F.S/℃底座材质316L密封材质氟橡胶，氯丁橡胶接头φ3，φ6，1/8"，1/4"产品尺寸图
检漏用质量流量计
